熱物理顯微鏡TM3的測量原理

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光定期加熱。

1. 由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性（熱電阻法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強(qiáng)度變化來測量表面的相對(duì)溫度變化。 .

2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱射流率。

檢測特點(diǎn)

• 熱物性顯微鏡是一種測量熱射流率的裝置，熱射流率是熱物理特性值之一。

• 它是一種可以通過點(diǎn)、線和面測量樣品的熱特性的設(shè)備。

• 還可以測量微米量級(jí)的熱物理性質(zhì)分布，這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

• 它是一款能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸式高分辨率測量的設(shè)備。

• 3 μm的檢測光點(diǎn)直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率熱物性測量（點(diǎn)/線/面測量）。

• 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。

• 您也可以測量板上的樣品。

• 使用激光進(jìn)行非接觸式測量。

• 可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。